ウェーハ加工用の工具が故障しないようにするためには、細心の注意が必要です。高精度なウェーハ加工用工具を使う場合、わずかな電気的漏れだけで、そのロット全体が無駄になってしまいます。 だからこそ、こちらでは「サンプル検査」を行いません。数個だけテストして、うまくいけばいいというわけにはいきません。私た...

ウェーハの硬化処理における無駄な熱の発生を止めよう ウェーハを硬化処理する際、温度管理は非常に重要です。しかし問題は、ほとんどの装置では熱があちこちに漏れてしまうことです。その結果、ウェーハではなく、装置自体が過度に加熱されてしまいます。 これは時間の無駄だけでなく、お金の無駄でもあります。 熱が...

MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法（そしてエネルギーも節約できる） MEMSセンサーウェーハを乾燥させるときは、まるで綱の上を歩くような状況です。水分を一切残さないようにしなければなりませんが、力を入れすぎると、その微細な構造が壊れてしまいます。 従来の方法は対流式のオーブンを使うことで...

ウェーハヒーターを安全に保つために（そして装置を壊さないために） ウェーハヒーターは、非常に過酷な環境で動作します。ごく狭いスペースに強烈な熱が込められており、わずかなミスでも大きな問題につながります。絶縁体に少しでも不具合があれば、コントローラーが破損したり、シリコンウェーハが損傷したりしてしま...

製造現場での炭素排出削減：なぜ精密な赤外線加熱が効果的なのか 今、誰もが「グリーンファクトリー」について語っています。しかし、半導体製造を行っている人ならわかると思いますが、炭素排出を削減するには、要は熱の扱い方が重要です。 古式の抵抗加熱方式のオーブンは、実際には無駄が多いです。部屋全体、空気、...

はじめに ウェーハ乾燥用のオーブンというのは、とても厳しい要求を持つ装置です。急速に高温になり、その温度を安定して維持できる加熱要素が必要であり、何よりも汚染が発生しないことが求められます。 そこで私たちは、高純度のタングステンフィラメントを、最高品質のクォーツで覆った構造を採用しました。これによ...

製造現場において、洗浄後の工程こそが、歩留まりが数分で低下してしまう可能性がある重要な段階です。ウェーハは洗浄や Rinse処理を経て出てくる際、表面には依然として微細な凹凸や水分が残っています。その後の加熱処理の温度がわずかに異なってしまうだけで、溶剤が残ったままになり、フォトレジストの密着性が...

ファブの現場では、ウェーハのプロービングやレジストの焼成時に温度が変動すると、仕様通りに製造が進まず、最悪の場合は製品の歩留まりが低下してしまいます。そこで、当社では、ラインがフル稼働している状態でも、温度を許容範囲内に保つためのエリプソメトリー用ウェーハプローブヒーターを開発しました。 技術的に...