クリーンルーム用赤外線ヒーター

シャードの発生を防ぎ、ウエハーを赤外線ランプの故障から守る 正直に言って、赤外線ランプが壊れるのは本当に悪夢です。高負荷の状態でランプが破裂すると、単なる停止時間だけでは済みません。石英の破片や化学物質がウエハーに降りかかってしまいます。これは大変な混乱を招き、費用もかかります。誰もが避けたい状況...