熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか ウェーハ製造プロセスにおいて、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題ではありません。それは、プロセスが制御不能であることの兆候です。 一般的な赤外線ランプを考えてみてください。これらはあらゆる方向に熱を放出します。つまり、消費される電...

製造現場において、フォトレジストの焼成時に生じる温度変動は、単なる理論上の問題ではありません。実際には、線幅のばらつきや歩留まりの低下として表れます。従来のホットプレートでは、温度の急激な変化を抑えるのは難しく、特にウェハの端付近の局所的な不均一性を解消することはできません。NIRエミッターは、こ...