破片の発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを守る方法 半導体製造工場では、ランプが壊れると、単なる問題や少しの停止時間以上の深刻な事態になります。それはまさに悪夢です。高負荷下で石英管が破損すると、装置は動かなくなるだけでなく、ガラスの破片や微粒子がウェーハに飛び散ってしまいます。 これは決...

なぜ私たちがCNTの加熱に赤外線を利用するようにしたのか 半導体製造に携わったことがある人なら、熱風を使った加熱方式の問題点を知っているはずです。機械を起動してから、しばらく待つ必要があります。実際には、基板を適切な温度にするために部屋全体を温めているわけです。これは時間がかかり、非効率的で、正直...

なぜ水素センサーの加熱に赤外線を使用するようにしたのか 水素センサーを作る際、熱は非常に重要です。もし温度管理が少しでも甘くなると、センサー全体の安定性が損なわれたり、感度が低下してしまったりします。長い間、多くの人々は従来の抵抗式のヒーターを使ってきましたが、私たちは短波長の赤外線システムに切り...

ヒーターがバイオセンサーを台無しにするのを防ごう もし、何時間もかけてバイオセンサーを作っているのに、硬化処理中にわずかなほこりが基材に付着してしまい、全てがダメになってしまった経験があるなら、その苦悩はよくわかるでしょう。1マイクロメートルほどの微小な粒子でも、全体が使い物にならなくなってしまい...