IRランプ用アルミニウム反射板
なぜ金コーティングされた反射板がシリコンウェハにとって重要なのか
シリコンウェハを加熱する際、無駄になるエネルギーは、まるで無駄に消えていくお金のようなものです。
多くの人々は、安価なアルミニウム製の反射板を使っています。確かに安いですが、問題があります。アルミニウムは赤外線の全波長を十分に反射で...
ウェーハ硬化ランプ用反射板
ウェーハの硬化処理における無駄な熱の発生を止めよう
ウェーハを硬化処理する際、温度管理は非常に重要です。しかし問題は、ほとんどの装置では熱があちこちに漏れてしまうことです。その結果、ウェーハではなく、装置自体が過度に加熱されてしまいます。
これは時間の無駄だけでなく、お金の無駄でもあります。
熱が...
金製反射板付き赤外線ランプ
熱の無駄遣いを止めよう:なぜ金メッキされた反射板が重要なのか
ウェーハ製造プロセスにおいて、エネルギーの無駄遣いは単なるコストの問題ではありません。それは、プロセスが制御不能であることの兆候です。
一般的な赤外線ランプを考えてみてください。これらはあらゆる方向に熱を放出します。つまり、消費される電...