なぜセラミック製のエンドキャップがIRエミッターにとって重要なのか 半導体製造工場では、理想的な熱管理を実現しようと努力しています。これは非常に難しいバランスの取り方です。極めて高い精度が求められる一方で、コストの急増を防がなければなりません。 多くの人々は大型の機械に注目しますが、実際の鍵はしば...

製造現場において、フォトレジストの焼成時に生じる温度変動は、単なる理論上の問題ではありません。実際には、線幅のばらつきや歩留まりの低下として表れます。従来のホットプレートでは、温度の急激な変化を抑えるのは難しく、特にウェハの端付近の局所的な不均一性を解消することはできません。NIRエミッターは、こ...