エリプソメトリウェーハープローブヒーター

ファブの現場では、ウェーハのプロービングやレジストの焼成時に温度が変動すると、仕様通りに製造が進まず、最悪の場合は製品の歩留まりが低下してしまいます。そこで、当社では、ラインがフル稼働している状態でも、温度を許容範囲内に保つためのエリプソメトリー用ウェーハプローブヒーターを開発しました。 技術的に...