先端ウェーハファブ向けのゾーン制御式加熱システム

ファブの現場では、ウエハ全体で0.3℃の温度差が生じるだけで、CDの値が変動したり、オーバーレイが発生したり、フォトレジストがその許容範囲を超えてしまったりします。警告灯はなく、結果として不良品が生じ、リソグラフィー部門から緊急の連絡が入ります。 実際に重要なのは何か？ 私たちは、個別の熱ゾーンを...