ファブラムプ用石英ガラスシールド

なぜファブの照明装置には石英製のシールドが必要なのか？ ファブで使われる赤外線加熱ランプについて話しましょう。これらはウェーハ処理において不可欠な存在ですが、問題点があります。その熱の多くが単に無駄に消えてしまうのです。もし省エネを目指したいのであれば、実際にウェーハにどれだけの熱が伝わっているの...