PVD 物理蒸着 ランプ

ファブフロアでは、PVDランがランプの消灯で停止し、ウェーハキューがただ滞留する。サーマルバジェットがずれ、膜厚もばらつき始め、アラームが解除される前に歩留まりが低下する。ラインに合わせて動く熱源が必要であり、熱源がラインを支配してはならない。 技術的に重要な点 これらのPVDランプは再現性の高い...