製造ラインの乾燥エリアでスパークが発生する心配はもう必要ありません。 もし、揮発性の化学物質のすぐ近くで部品を乾燥させているなら、その状況はかなり危険です。そんな環境では、普通の赤外線ランプは単なる道具ではなく、むしろ危険因子となります。石英にわずかな亀裂が入ったり、配線が緩んだりするだけで、爆発...

MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法（そしてエネルギーも節約できる） MEMSセンサーウェーハを乾燥させるときは、まるで綱の上を歩くような状況です。水分を一切残さないようにしなければなりませんが、力を入れすぎると、その微細な構造が壊れてしまいます。 従来の方法は対流式のオーブンを使うことで...

はじめに ウェーハ乾燥用のオーブンというのは、とても厳しい要求を持つ装置です。急速に高温になり、その温度を安定して維持できる加熱要素が必要であり、何よりも汚染が発生しないことが求められます。 そこで私たちは、高純度のタングステンフィラメントを、最高品質のクォーツで覆った構造を採用しました。これによ...

ウェーハの製造工程において、リソグラフィーを行う前の乾燥工程は、歩留まりに大きな影響を与えます。フォトレジストの残留物や水分の問題、端の不具合などは、ほとんどの場合、プレートの温度変動や温度制御の不良、あるいは装置自体から発生する粒子に起因しています。私たちは、こうした問題を解決するために...

なぜCE認証済み赤外線ヒーターが世界中の衣類乾燥に選ばれるのか 多国籍ブランドには試行錯誤の時間はありません。ベルリン、バンコク、ブエノスアイレスのどこで機械が稼働していても、信頼できる衣類乾燥用ヒーターが必要なのです。 そこで私たちは、CE認証を取得した赤外線ヒーターを、堅牢で世界標準となる製品...