ファブIRランプ用クォーツスリーブ

リソグラフィ工程において、ソフトベークとハードベークは妥協を許さない。フォトレジストは熱予算が指示する通りに振る舞い、例外はない。IRランプの出力が弱い、または不安定であれば、やり直しはできない。ライン幅のばらつき、残渣、廃棄が発生するだけだ。 300 mmウェハをタイトなループで処理している—塗...