ファブ用赤外線加熱モジュール

ファブの現場では、焼成工程は単なる一時停止ではなく、工程の流れにおける重要な境界点です。ソフトベイクとハードベイクは、寸法管理や溶剤の除去、フォトレジストの密着性を決定づけます。もしヒートプレートの位置が狂ったり、設定温度がウェーハの動きに追いつかなくなったりすると、歩留まりが低下してしまいます。...