半導体洗浄用のヒーターを安全に、かつストレスなく使うために 正直に言って、クリーンルーム内で、反応性の高い洗浄剤のすぐそばにヒーターを設置するのは、とても危険なことです。可燃性の溶剤を扱う際には、一般的な赤外線ランプを使うのは良くない選択です。それは単なる悪い選択肢にとどまらず、大きなリスクを伴い...

ウェーハを安全に守るために：チューブの破裂についての真実 大量生産を行う工場では、ランプの故障は大変な問題です。単に生産停止になるだけではありません。もし石英管がウェーハの上で破裂してしまうと、大量の微粒子が飛び散り、全体の製品が台無しになってしまいます。そうなれば、歩留まりもゼロになってしまいま...

ウェーハを清潔に保つために：赤外線ランプの故障に関する真実 正直に言うと、半導体製造ラインで赤外線ランプが壊れると、それは本当に大変なことです。単に5分以内に交換可能な部品が壊れるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハの上に降り注ぎます。一度ひび割れが入ると、生産効率が激しく低下して...

ウェーハをきれいに保つために：加熱に関する真実 クラス100のクリーンルームでは、わずかなほこりの粒子でさえも問題となります。それはウェーハの歩留まりを著しく低下させる要因となります。ほとんどの加熱素子は、加熱や冷却の際にガスや微粒子を放出してしまうため、問題となります。 そのため、私たちは別の方...