ウェーハを安全に守るために：チューブの破裂についての真実
大量生産を行う工場では、ランプの故障は大変な問題です。単に生産停止になるだけではありません。もし石英管がウェーハの上で破裂してしまうと、大量の微粒子が飛び散り、全体の製品が台無しになってしまいます。そうなれば、歩留まりもゼロになってしまいます。
そのため、私たちは金コーティングを施した赤外線ランプを開発しました。これにより、圧力がかかっても石英管が割れないようになります。
なぜ金コーティングが重要なのか
石英管の背面に金反射コーティングを施すのは、見た目を良くするためではありません。それは物理学上の理由からです。金は赤外線を前方に向けて反射させ、その熱をウェーハに直接当てるのです。
エネルギーが方向性を持っているため、石英管の背面はあまり熱くなりません。必要な場所にだけ高密度の熱が集中し、石英自体は溶点に達することがありません。これにより、急激な温度変化があってもガラスが変形したり割れたりすることがありません。
「破片」の発生を防ぐ
シリコンを破片から守るために、私たちは材料選びにも気を使います。高純度の合成石英を使用することで、熱衝撃に強くなります。また、電極部分も精密に封止されているため、内部の圧力が上昇してチューブが破裂するのを防ぎます。
しかし、現実的には、どんなランプでも完全に壊れないわけではありません。そのため、常に物理的な保護装置を使用することをお勧めします。万が一チューブが破裂してしまった場合、保護装置が割れたランプと破損したウェーハとの間の唯一の防御策となります。
注意点とその対処法
ただし、金コーティングされたランプは方向性のある熱を効果的に発揮できますが、少し敏感です。取り付け時にコーティングが傷ついてしまうと、「ホットスポット」ができてしまい、早期の故障の原因となります。必ず手袋を着用し、コーティングされた表面に触れないようにしてください。設置時に少し注意すれば、後で大きな問題を避けることができます。