ゴールドコーティングされたツインチューブ式IRランプを使えば、適切な熱負荷を実現できます。
半導体製造工場で働いている方なら、ガスを除去したり、ウェハを硬化させるために必要な正確な温度条件を得るのがいかに難しいかご存知でしょう。これはバランスを取る必要がある作業です。私たちの経験では、ツインチューブ式のゴールドコーティングされたIRランプを使用することが、その目標を達成するための最善の方法です。それは、従来の対流型オーブンによるエネルギーの無駄遣いを防げるからです。
秘密はゴールドにあります。
通常の石英ランプは広範囲にわたって熱を放出します。しかし、ツインチューブにゴールドコーティングを施すことで、長波長の放射光をフィラメント内に戻すことができます。そうすることで、すべての熱が短波長側に移動します。短波長のIR光はまるで近道のようで、材料をより速く通過し、熱を移動させるための距離も大幅に短縮されます。その結果、ウェハ表面での熱伝達効率が大幅に向上します。
非常に迅速です。つまり、システムが目標温度に到達するのがずっと早くなります。
より多くのパワー、より少ないスペース。
ツインチューブ式の構造は、スペースを節約するのに最適です。1つの石英ケースの中に2本のフィラメントを入れることで、ランプの長さを変えずに放射面積を倍増させることができます。これにより、加熱室を小さくすることができ、結果としてより多くの熱を得ることができます。
ただし、注意点があります。電源装置に十分注意してください。高ワット数のランプは大量の電流を消費します。配線が十分でなければ、電圧降下が起こり、ウェハ全体で均一な加熱ができなくなります。これは避けたいことです。
環境面については？
今、誰もが炭素排出量や「無駄なエネルギー」について話しています。しかし、ゴールドコーティングされたランプはほぼ瞬時に反応します。もはや抵抗ヒーターに頼る必要がないので、長時間の予熱工程は不要です。より迅速な加熱と冷却により、1個のウェハあたりに必要なエネルギー量が減少します。これは、コスト削減と地球環境保護の両面から見て合理的です。
ただし、クリーンルームの基準を厳守する必要があります。化学物質の蒸気がゴールドコーティングを汚染すると、反射層が損傷してしまいます。そうなると、効率が低下し、再びエネルギーコストが上昇します。清潔に保っておけば、問題なく機能します。