洗浄後ウェーハ用赤外線ヒーター

製造現場において、洗浄後の工程こそが、歩留まりが数分で低下してしまう可能性がある重要な段階です。ウェーハは洗浄や Rinse処理を経て出てくる際、表面には依然として微細な凹凸や水分が残っています。その後の加熱処理の温度がわずかに異なってしまうだけで、溶剤が残ったままになり、フォトレジストの密着性が...