ウェーハ処理における熱の無駄遣いを止めよう 正直言って、クリーンルーム内で電力を無駄にするのは最悪のことです。シリコンウェーハを加熱する際には、その赤外線エネルギーがすべて基板に届くようにしたいものです。エネルギーが漏れ出してオーブン本体が巨大なラジエーターのようになってしまうのは避けたいのです。...

シャードの発生を防ぎ、ウエハーを赤外線ランプの故障から守る 正直に言って、赤外線ランプが壊れるのは本当に悪夢です。高負荷の状態でランプが破裂すると、単なる停止時間だけでは済みません。石英の破片や化学物質がウエハーに降りかかってしまいます。これは大変な混乱を招き、費用もかかります。誰もが避けたい状況...