半導体ヒーター用熱電対

ウェーハをきれいに保つために：加熱に関する真実 クラス100のクリーンルームでは、わずかなほこりの粒子でさえも問題となります。それはウェーハの歩留まりを著しく低下させる要因となります。ほとんどの加熱素子は、加熱や冷却の際にガスや微粒子を放出してしまうため、問題となります。 そのため、私たちは別の方...