ウェーハを安全に守るために：チューブの破裂についての真実 大量生産を行う工場では、ランプの故障は大変な問題です。単に生産停止になるだけではありません。もし石英管がウェーハの上で破裂してしまうと、大量の微粒子が飛び散り、全体の製品が台無しになってしまいます。そうなれば、歩留まりもゼロになってしまいま...

ゴールドコーティングされたツインチューブ式IRランプを使えば、適切な熱負荷を実現できます。 半導体製造工場で働いている方なら、ガスを除去したり、ウェハを硬化させるために必要な正確な温度条件を得るのがいかに難しいかご存知でしょう。これはバランスを取る必要がある作業です。私たちの経験では、ツインチュー...