製造現場での炭素排出削減：なぜ精密な赤外線加熱が効果的なのか 今、誰もが「グリーンファクトリー」について語っています。しかし、半導体製造を行っている人ならわかると思いますが、炭素排出を削減するには、要は熱の扱い方が重要です。 古式の抵抗加熱方式のオーブンは、実際には無駄が多いです。部屋全体、空気、...

ファブの現場では、フォトレジストの焼成処理は単なるウォームアップではありません。それは重要な工程の一部です。ソフトベイク時に2℃もの温度変動があると、ウェハ全体にわたって重要な寸法のばらつきが生じます。私たちは、重要な部分の温度を安定させるために、高精度な赤外線ヒーターを開発しました。 技術的に重...