洗浄用防水赤外線ランプ

洗浄工程においては、水跡やレジストの状態が不安定になることは理論上の問題ではなく、実際に製品の品質を損なう要因となります。そのため、ウェハーの乾燥やそれに続く熱処理工程での不確実性を排除するために、防水仕様の赤外線ランプを開発しました。 内部で何が重要か 私たちは、密閉されたケース内で短波長の赤外...