なぜ古いバスルーム用のヒーターは使わない方がいいのか（そして、代わりに何を使うべきか） 正直に言うと、昔のバスルーム用ヒーターはあまりおすすめできません。ほとんどの場合、単純な電球や安価なクォーツ素子が使われており、実際には密封されていないのです。蒸気や水しぶきが飛び交う環境では、故障の原因になり...

ファブの現場では、ウエハ全体で0.3℃の温度差が生じるだけで、CDの値が変動したり、オーバーレイが発生したり、フォトレジストがその許容範囲を超えてしまったりします。警告灯はなく、結果として不良品が生じ、リソグラフィー部門から緊急の連絡が入ります。 実際に重要なのは何か？ 私たちは、個別の熱ゾーンを...

ファブの現場では、焼成工程は単なる一時停止ではなく、工程の流れにおける重要な境界点です。ソフトベイクとハードベイクは、寸法管理や溶剤の除去、フォトレジストの密着性を決定づけます。もしヒートプレートの位置が狂ったり、設定温度がウェーハの動きに追いつかなくなったりすると、歩留まりが低下してしまいます。...