電子機器用高精度赤外線ヒーター

ファブの現場では、フォトレジストの焼成処理は単なるウォームアップではありません。それは重要な工程の一部です。ソフトベイク時に2℃もの温度変動があると、ウェハ全体にわたって重要な寸法のばらつきが生じます。私たちは、重要な部分の温度を安定させるために、高精度な赤外線ヒーターを開発しました。 技術的に重...