持続可能なファブ製造ソリューション

破片の発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを守る方法 半導体製造工場では、ランプが壊れると、単なる問題や少しの停止時間以上の深刻な事態になります。それはまさに悪夢です。高負荷下で石英管が破損すると、装置は動かなくなるだけでなく、ガラスの破片や微粒子がウェーハに飛び散ってしまいます。 これは決...