バスルームに適した赤外線ランプの選び方 バスルーム用ヒーターのワット数を決めるには、バランスが重要です。十分な暖かさが得られるようにしつつ、バスルームをサウナのようにしてしまったり、電気代を無駄にしたりすることは避けたいものです。 私たちが作る交換用ランプはIP65等級で作られています。簡単に言え...

ウェーハを清潔に保つために：赤外線ランプの故障に関する真実 正直に言うと、半導体製造ラインで赤外線ランプが壊れると、それは本当に大変なことです。単に5分以内に交換可能な部品が壊れるだけではありません。ガラスの破片や化学物質がウェーハの上に降り注ぎます。一度ひび割れが入ると、生産効率が激しく低下して...

はじめに ウェーハ乾燥用のオーブンというのは、とても厳しい要求を持つ装置です。急速に高温になり、その温度を安定して維持できる加熱要素が必要であり、何よりも汚染が発生しないことが求められます。 そこで私たちは、高純度のタングステンフィラメントを、最高品質のクォーツで覆った構造を採用しました。これによ...

ファブフロアにおいて、ウェーハの薄化工程は熱に対して非常にセンシティブな作業である。赤外線加熱中の熱分布が不均一だと、ウェーハの変形を引き起こすだけでなく、反り、フォトレジストの応力、リソグラフィやパッケージング工程で後に顕在化する微細な亀裂などの不良発生要因となり、歩留まり損失につながる。熱源は...