なぜ金コーティングされた反射器がウェーハの乾燥にとって重要なのか ウェーハを乾燥させる際には、単に「熱」だけを求めているわけではありません。実際には、光子がウェーハの表面に正確に当たることが重要です。 通常の反射器の問題点は、エネルギーが外部に漏れ出してしまうことです。つまり、無駄なお金がかかって...

リソグラフィ工程では、FOUPが25枚のフォトレジスト塗布済みウェーハを載せてトラックにローリングインする。ベイクモジュールは、サイクルごとに均一に目標温度に到達しなければならない。0.5°Cずれると粒子発生が急増し、昼前に歩留まりを損なう。こうした不確実性を排除するために、我々はFOUPドライヤ...