ウェーハ薄化加熱赤外線

ファブフロアにおいて、ウェーハの薄化工程は熱に対して非常にセンシティブな作業である。赤外線加熱中の熱分布が不均一だと、ウェーハの変形を引き起こすだけでなく、反り、フォトレジストの応力、リソグラフィやパッケージング工程で後に顕在化する微細な亀裂などの不良発生要因となり、歩留まり損失につながる。熱源は...