近赤外線 NIR 発光球

製造現場において、フォトレジストの焼成時に生じる温度変動は、単なる理論上の問題ではありません。実際には、線幅のばらつきや歩留まりの低下として表れます。従来のホットプレートでは、温度の急激な変化を抑えるのは難しく、特にウェハの端付近の局所的な不均一性を解消することはできません。NIRエミッターは、こ...