なぜセンサーパッケージングにおいてホットエアではなくIRを使うのか 半導体のパッケージングに携わったことがある人なら、待つことのストレスをよく理解しているでしょう。特に、部品が十分に温まるまで待つ時間です。長い間、私たちはホットエアを利用してきましたが、正直、速度が遅すぎます。 問題は、ホットエア...

なぜ水素センサーの加熱に赤外線を使用するようにしたのか 水素センサーを作る際、熱は非常に重要です。もし温度管理が少しでも甘くなると、センサー全体の安定性が損なわれたり、感度が低下してしまったりします。長い間、多くの人々は従来の抵抗式のヒーターを使ってきましたが、私たちは短波長の赤外線システムに切り...

ウェーハ加工用の工具が故障しないようにするためには、細心の注意が必要です。高精度なウェーハ加工用工具を使う場合、わずかな電気的漏れだけで、そのロット全体が無駄になってしまいます。 だからこそ、こちらでは「サンプル検査」を行いません。数個だけテストして、うまくいけばいいというわけにはいきません。私た...

MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法（そしてエネルギーも節約できる） MEMSセンサーウェーハを乾燥させるときは、まるで綱の上を歩くような状況です。水分を一切残さないようにしなければなりませんが、力を入れすぎると、その微細な構造が壊れてしまいます。 従来の方法は対流式のオーブンを使うことで...

製造現場での炭素排出削減：なぜ精密な赤外線加熱が効果的なのか 今、誰もが「グリーンファクトリー」について語っています。しかし、半導体製造を行っている人ならわかると思いますが、炭素排出を削減するには、要は熱の扱い方が重要です。 古式の抵抗加熱方式のオーブンは、実際には無駄が多いです。部屋全体、空気、...