装置を加熱するのはやめましょう
半導体製造工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェハーや基板を高温にする必要がありますが、他の装置も同時に過度に加熱されてしまっては困ります。
一般的な赤外線ヒーターは、熱があちこちに漏れ出してしまいます。すぐに内壁が灼熱状態になり、安全装置が作動してしまい、敏感な部品もダメージを受けます。本当に厄介です。
私たちは、指向性の高いUHP（超純度）赤外線ランプを使用することでこれを解決しています。
熱を正確に目的の場所に送る
これは、電球と懐中電灯の違いに似ています。電球のように全方位に光を放つのではなく、短波長の赤外線技術を利用します。フィラメントの形状を調整し、内部に反射器を追加することで、熱を正確に目的の場所に集中させるのです。
そうすることで、エネルギーがワークピースに直接伝わり、壁面は冷たいままです。とても簡単です。
純度の問題（そして注意点）
真空チャンバー内で作業する際、汚染は大敵です。わずかなガスの漏れだけでも全てを台無しにしてしまいます。そのため、キャップには高純度の合成石英を使用しています。金属イオンも含まれていないので、問題ありません。
また、このランプは非常に速く、数秒で目標温度に到達します。
しかし、注意点があります。出力密度に注意してください。
小さなスペースに多すぎるワット数を投入すると、コネクタが損傷してしまいます。また、冷却システムが指定されたランプの出力に対応できない場合、ソケットが壊れてしまいます。
実際の環境での利用
最良の点は、内壁が巨大な放熱体として機能しなくなり、中立な領域になることです。
これにより、メンテナンスを行う際に機械がより安全になります。また、施設の冷却システムの負担も大幅に軽減されます。
ただし、一つだけ注意点があります。位置合わせが重要です。
ランプの角度が数度でもずれていると、目的の場所に熱が届かず、壁面に当たってしまいます。効果を得るためには、正確に調整する必要があります。