半導体製造工場における炭素排出量削減：なぜ赤外線が最適なのか 半導体製造工場で炭素中和を実現したいと思っているなら、従来の方法では十分ではないことに気づいているはずです。私たちの多くは依然として抵抗加熱方式を利用していますが、これはウェハーの周囲の空気だけを温めるに過ぎず、効率が悪いのです。 だか...

クリーンルームで使用するIRランプを安全に保つために（そして、あなたの精神状態も守るために） クリーンルームで作業を行う際には、重大なリスクが伴います。単なる電気的なトラブルだけでも、製品全体が台無しになったり、生産ラインが停止したりする可能性があります。私たちが開発するIRランプは、高い温度に耐...

半導体洗浄用のヒーターを安全に、かつストレスなく使うために 正直に言って、クリーンルーム内で、反応性の高い洗浄剤のすぐそばにヒーターを設置するのは、とても危険なことです。可燃性の溶剤を扱う際には、一般的な赤外線ランプを使うのは良くない選択です。それは単なる悪い選択肢にとどまらず、大きなリスクを伴い...

ウェーハ処理における熱の無駄遣いを止めよう 正直言って、クリーンルーム内で電力を無駄にするのは最悪のことです。シリコンウェーハを加熱する際には、その赤外線エネルギーがすべて基板に届くようにしたいものです。エネルギーが漏れ出してオーブン本体が巨大なラジエーターのようになってしまうのは避けたいのです。...