웨이퍼 처리 과정에서 열이 낭비되는 것을 막아보세요. 솔직히 말해서, 클린룸에서 에너지가 낭비되는 것은 정말 문제입니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 그 적외선 에너지가 모두 기판에 도달해야 합니다. 그 에너지가 밖으로 새어나가서 오븐 자체가 거대한 라디에이터가 되는...

서론 웨이퍼 건조용 오븐은 매우 까다로운 장비입니다. 빠르게 열을 가할 수 있으면서도 그 온도를 일정하게 유지해주며, 어떤 경우에도 오염이 발생하지 않아야 합니다. 그래서 저희는 고순도 텅스텐 필라멘트 주위에 최고급 석영을 둘러서 이러한 요구사항을 충족시키는 장치를...