왜 팹용 램프에는 석영 보호막이 필요한가요? 팹에서 사용되는 적외선 가열 램프에 대해 이야기해보겠습니다. 우리 모두 알다시피, 이 램프들은 웨이퍼 처리 과정에서 매우 중요한 역할을 합니다. 하지만 문제는, 그 열 중 상당 부분이 그냥 사라져버린다는 것입니다. 만약 친...

리소그래피 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 타협하지 않는다. 포토레지스트는 열처리 조건에 따라 행동하며 예외는 없다. IR 램프가 약하거나 불안정하면 재작업이 불가능하다. 그 결과 라인폭 편차, 불순물 잔류, 불량이 발생한다. 300 mm 웨이퍼를 코팅, 베이...