웨이퍼 처리 장비용 온도 센서
와이어 프레스 공구가 고장 나지 않도록 하는 방법
고정밀도의 와이어 프레스 공구를 사용할 때는 오차 범위가 매우 좁습니다. 아주 작은 전기 누설만 있어도, 그 제품은 전부 폐기됩니다.
그래서 우리는 여기서 “샘플 검사”를 하지 않습니다. 몇 개의 제품만 테스트해서 성...
웨이퍼 경화 램프용 반사기
와이어의 건조 과정에서 열이 낭비되는 것을 막아야 합니다. 와이어를 건조할 때는 온도 조절이 매우 중요합니다. 하지만 문제는 대부분의 시스템들이 열을 여기저기로 낭비한다는 점입니다. 그 결과, 와이어가 아닌 기계 자체가 가열됩니다. 이는 에너지뿐만 아니라 비용도 낭비...
MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터
MEMS 웨이퍼를 더 효율적으로 건조시키는 방법 (그리고 에너지도 절약할 수 있음)
MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 마치 줄타기를 하는 것과 같습니다. 웨이퍼에 남아 있는 모든 수분을 제거해야 하지만, 너무 과도하게 건조하면 그 섬세한 미세구조가 손상될 수 있습니...
에너지 효율적인 웨이퍼 히터
와이어 히터를 안전하게 보호하기 위해서는 무엇보다도 주의가 필요합니다. 와이어 히터는 극심한 열이 집약된 곳에 위치해 있으며, 오차가 허용되지 않습니다. 절연 처리에 조금이라도 실수가 생기면, 컨트롤러가 손상되거나 실리콘 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상...
웨이퍼용 고정밀 IR 센서
공장 내 탄소 배출량 줄이기: 정밀한 적외선 가열이 효과적인 이유
요즘에는 “친환경 공장”에 대한 이야기가 많습니다. 하지만 반도체 공장을 운영하는 사람이라면, 탄소 배출량을 줄이는 것이 결국 한 가지 요소에 달려 있다는 것을 알고 있습니다. 바로 열을 어떻게 처리하...
웨이퍼 박막 가열 적외선
fab 라인에서 웨이퍼 박망 공정은 열에 민감한 작업이다. 적외선 가열 시 비균일한 열 분포는 웨이퍼 변형뿐만 아니라 뒤이어 나타나는 리소그래피와 패키징 단계에서의 뒤틀림, 포토레지스트 응력, 미세 균열로 인한 수율 손실을 유발한다. 전체 표면을 하나의 반복 가능한...