웨이퍼 처리 과정에서 열이 낭비되는 것을 막아보세요. 솔직히 말해서, 클린룸에서 에너지가 낭비되는 것은 정말 문제입니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 그 적외선 에너지가 모두 기판에 도달해야 합니다. 그 에너지가 밖으로 새어나가서 오븐 자체가 거대한 라디에이터가 되는...

파편을 막아라: 적외선 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하기 솔직히 말해서, 적외선 램프가 폭발하는 것은 정말 끔찍한 상황입니다. 고부하 상태에서 램프가 파손되면, 단순히 가동 중단만 일어나는 것이 아닙니다. 석영 파편과 화학 물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 이...