웨이퍼 박막 가열 적외선

fab 라인에서 웨이퍼 박망 공정은 열에 민감한 작업이다. 적외선 가열 시 비균일한 열 분포는 웨이퍼 변형뿐만 아니라 뒤이어 나타나는 리소그래피와 패키징 단계에서의 뒤틀림, 포토레지스트 응력, 미세 균열로 인한 수율 손실을 유발한다. 전체 표면을 하나의 반복 가능한...