왜 금 도금된 반사체가 웨이퍼 건조에 중요한지 웨이퍼를 건조할 때는 단순히 “열”만이 필요한 것이 아닙니다. 표면에 정확하게 광자가 도달해야 합니다. 일반적인 반사체의 문제점은 에너지가 새어나간다는 점입니다. 너무 많은 에너지가 하우징 안으로 빠져나가버리는데, 이는...

리소그래피 라인에서 FOUP가 25장의 웨이퍼를 싣고 트랙으로 진입한다. 각 웨이퍼에는 새로 도포된 포토레지스트가 있다. 베이크 모듈은 사이클마다 균일하게 목표 온도에 정확히 도달해야 한다. 0.5°C만 벗어나도 입자 스파이크가 발생하여 점심시간 전에 수율이 손실된다...