Below you will find pages that utilize the taxonomy term “포드)” FOUP(프론트 오프닝 유니파이드 포드) 드라이어 리소그래피 라인에서 FOUP가 25장의 웨이퍼를 싣고 트랙으로 진입한다. 각 웨이퍼에는 새로 도포된 포토레지스트가 있다. 베이크 모듈은 사이클마다 균일하게 목표 온도에 정확히 도달해야 한다. 0.5°C만 벗어나도 입자 스파이크가 발생하여 점심시간 전에 수율이 손실된다... Read more...
FOUP(프론트 오프닝 유니파이드 포드) 드라이어 리소그래피 라인에서 FOUP가 25장의 웨이퍼를 싣고 트랙으로 진입한다. 각 웨이퍼에는 새로 도포된 포토레지스트가 있다. 베이크 모듈은 사이클마다 균일하게 목표 온도에 정확히 도달해야 한다. 0.5°C만 벗어나도 입자 스파이크가 발생하여 점심시간 전에 수율이 손실된다... Read more...
