엘립소미터 웨이퍼 프로브 히터

웨이퍼를 검사하거나 레지스트를 건조하는 과정에서 발생하는 온도 변동은 단순히 사양을 벗어나게 만드는 것뿐만 아니라, 결국 제품의 수율까지 저하시킵니다. 우리는 설비가 최대 부하 상태에서도 온도가 허용 범위 내로 유지될 수 있도록 엘립소미터용 웨이퍼 프로브 히터를 개발...