팹용 적외선 가열 모듈

팹에서의 베이킹 과정은 단순한 정지 시간이 아니라, 공정 흐름에서 중요한 분기점입니다. 소프트 베이킹과 하드 베이킹은 치수 제어, 용매 제거, 포토레지스트의 접착력을 결정하는 데 중요한 역할을 합니다. 만약 가열판의 위치가 변하거나 설정된 온도가 웨이퍼의 온도를 따라...