공장 내 탄소 배출량 줄이기: 정밀한 적외선 가열이 효과적인 이유 요즘에는 “친환경 공장”에 대한 이야기가 많습니다. 하지만 반도체 공장을 운영하는 사람이라면, 탄소 배출량을 줄이는 것이 결국 한 가지 요소에 달려 있다는 것을 알고 있습니다. 바로 열을 어떻게 처리하...

팹에서의 포토레지스트 베이킹 과정은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 매우 중요한 공정 단계입니다. 소프트 베이킹 시 2°C만큼의 온도 변동이 있어도 웨이퍼 전체에 걸쳐 치명적인 치수 변화가 생길 수 있습니다. 저희는 정밀한 적외선 히터를 사용하여 중요한 부분의 온...