청정실 장비 업그레이드 공장
반도체 공장에서 탄소 배출을 줄이는 방법: 왜 적외선이 최적의 해결책인가?
반도체 공장에서 탄소 중립 목표를 달성하려면, 기존의 방식으로는 충분하지 않다는 것을 알고 계실 것입니다. 대부분의 경우 여전히 저항 가열 방식을 사용하는데, 이는 웨이퍼 주변의 공기만을 가열...
클린룸 벤치 적외선 램프
클린룸 내의 적외선 램프를 안전하게 보호하기 (그리고 여러분의 정신 건강도 지키기)
클린룸에서 작업할 때는 위험도가 매우 높습니다. 단 한 번의 전기적 문제라도 심각한 결과를 초래할 수 있습니다. 전체 제품군이 망가지거나, 생산 라인 전체가 멈출 수도 있습니다. 우리...
반도체 청정실용 트롤리 히터
반도체 세척 장비를 안전하고 문제 없이 사용하기 위한 팁들
솔직히 말해서, 청정실 내에서 휘발성 세척제와 가까운 곳에 히터를 설치하는 것은 매우 위험한 일입니다. 인화성 용매를 다룰 때는 일반적인 적외선 램프조차도 적절한 선택이 아닙니다. 그래서 우리는 특수한 밀폐...
클린룸 오븐 적외선 히터
웨이퍼 처리 과정에서 열이 낭비되는 것을 막아보세요.
솔직히 말해서, 클린룸에서 에너지가 낭비되는 것은 정말 문제입니다. 실리콘 웨이퍼를 가열할 때는 그 적외선 에너지가 모두 기판에 도달해야 합니다. 그 에너지가 밖으로 새어나가서 오븐 자체가 거대한 라디에이터가 되는...
클린룸용 적외선 히터
파편을 막아라: 적외선 램프 고장으로부터 웨이퍼를 보호하기 솔직히 말해서, 적외선 램프가 폭발하는 것은 정말 끔찍한 상황입니다.
고부하 상태에서 램프가 파손되면, 단순히 가동 중단만 일어나는 것이 아닙니다. 석영 파편과 화학 물질들이 웨이퍼 위로 떨어지게 됩니다. 이...