MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

MEMS 웨이퍼를 더 효율적으로 건조시키는 방법 (그리고 에너지도 절약할 수 있음) MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 마치 줄타기를 하는 것과 같습니다. 웨이퍼에 남아 있는 모든 수분을 제거해야 하지만, 너무 과도하게 건조하면 그 섬세한 미세구조가 손상될 수 있습니...