전자제품용 고정밀 적외선 히터

팹에서의 포토레지스트 베이킹 과정은 단순한 예열 과정이 아닙니다. 이는 매우 중요한 공정 단계입니다. 소프트 베이킹 시 2°C만큼의 온도 변동이 있어도 웨이퍼 전체에 걸쳐 치명적인 치수 변화가 생길 수 있습니다. 저희는 정밀한 적외선 히터를 사용하여 중요한 부분의 온...