패브 IR 램프용 쿼츠 슬리브

리소그래피 라인에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 타협하지 않는다. 포토레지스트는 열처리 조건에 따라 행동하며 예외는 없다. IR 램프가 약하거나 불안정하면 재작업이 불가능하다. 그 결과 라인폭 편차, 불순물 잔류, 불량이 발생한다. 300 mm 웨이퍼를 코팅, 베이...