칩상 실험용 건조 히터

웨이퍼 가공 과정에서 리소그래피를 진행하기 전의 건조 단계는 제품의 성능에 큰 영향을 미칩니다. 포토레지스트 잔여물, 물기, 가장자리의 결함 등은 대부분 플레이트의 온도 변동이나 제어 불량, 혹은 장비 자체에서 발생하는 입자들 때문입니다. 저희는 이러한 문제들을 해결...