와이어 히터를 안전하게 보호하기 위해서는 무엇보다도 주의가 필요합니다. 와이어 히터는 극심한 열이 집약된 곳에 위치해 있으며, 오차가 허용되지 않습니다. 절연 처리에 조금이라도 실수가 생기면, 컨트롤러가 손상되거나 실리콘 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다.
그래서 우리는 결코 예단하지 않습니다. 우리 공장에서 나가는 모든 히팅 요소는 반드시 전압 저항 검사와 절연 저항 검사를 거칩니다. 예외는 없습니다.
절연 파괴 문제 높은 전압을 히터에 가할 때는 절연체가 제 역할을 잘 해야 합니다. 전류가 정해진 곳에만 흐르도록 하고, 케이스로 유출되는 것을 막아야 합니다.
더욱 안전하게 만들기 위해, 우리는 실제 사용하는 전압보다 훨씬 높은 전압을 히터에 가합니다. 만약 작은 구멍이나 균열이 있다면, 전류가 그곳으로 흘러 들어갈 수 있습니다. 우리는 그러한 결함을 생산 중에 발견하기보다는 미리 발견하는 것이 낫습니다.
왜 모든 히터를 검사하는가? 반도체 장비의 경우, 단순히 일부 히터만 검사하는 것으로는 충분하지 않습니다. 10개 중 1개만 검사한다고 해서 문제가 없을 거라고 기대할 수 없습니다. 단락으로 인해 수백만 달러짜리 장비가 망가질 수 있으므로, 1%의 실패율도 치명적입니다.
우리는 메가옴(MΩ) 단위로 절연 저항을 측정하여, 히팅 요소가 외부와 완전히 분리되어 있는지 확인합니다. 이렇게 하면 센서에 방해가 되는 부수적인 전류가 발생하지 않습니다.
열과 마모의 현실 솔직히 말해서, 고온 환경에서 장비를 사용하면 결국 손상이 생깁니다. 아무리 좋은 절연체라도 시간이 지나면 성능이 떨어집니다.
히터는 처음부터 우리의 엄격한 품질 검사를 통과하지만, 시간이 지남에 따라 절연 저항이 낮아질 수 있습니다. 이는 물리적인 현상입니다.
우리는 이러한 장비들이 견딜 수 있도록 설계했지만, 여전히 주의가 필요합니다. 전원 공급 장치에는 빠른 반응 속도를 가진 퓨즈를 사용하세요. 그러면 히터가 고장 나거나 단락될 경우, 하드웨어가 손상되기 전에 시스템이 작동을 멈출 것입니다. 그리고 꼭 히터의 케이스가 제대로 접지되어 있는지 확인하세요. 이것이 작업자들을 안전하게 지킬 수 있는 유일한 방법입니다.