Aşağıda, “Alanlara Ayrılmış” sınıflandırma terimini kullanan sayfaları bulacaksınız. İleri düzey yonga üretim tesisleri için bölgesel ısıtma Üretim alanında, wafer üzerindeki sıcaklık farkı 0,3°C bile olsa bu durum CD değerlerinde değişikliklere, üst katmanların bozulmasına ve fotoresistin... Read more...
İleri düzey yonga üretim tesisleri için bölgesel ısıtma Üretim alanında, wafer üzerindeki sıcaklık farkı 0,3°C bile olsa bu durum CD değerlerinde değişikliklere, üst katmanların bozulmasına ve fotoresistin... Read more...
