Aşağıda, “FOUP” sınıflandırma terimini kullanan sayfaları bulacaksınız. FOUP (Ön Açılım Birleşik Kapsül) kurutucu Lithografi katında, 25 adet wafer içeren ve her biri taze fotoresist kaplı bir FOUP, ray üzerine sürülür. Pişirme modülünün hedefte, döngü sonrası... Read more...
FOUP (Ön Açılım Birleşik Kapsül) kurutucu Lithografi katında, 25 adet wafer içeren ve her biri taze fotoresist kaplı bir FOUP, ray üzerine sürülür. Pişirme modülünün hedefte, döngü sonrası... Read more...
